製造元：THKプレシジョン(株)

対物レンズフォーカス用ステージは,対物レンズの焦点調整用に専用設計したステージです.

顕微鏡や各種の検査･測定装置,観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります.

選べる3つのタイプ

横型タイプ
本体を薄くしたまま上下方向に動作します.ストロークの種類も豊富です.		 縦型タイプ
剛性が高く応答性を重視した構造です.重いレンズや高速フォーカスに最適です.		 箱型タイプ
対物レンズを中心に対称形構造とし,製造･検査装置への組込搭載に適しています.

製品使用例

• 高速フォーカス
• 半導体,FPD検査装置
• レーザ加工
• 共焦点顕微鏡
• 画像処理機器
• 干渉計形状測定

 

製品ラインナップ

横型　　　　　
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 適用ねじ径
PFHC**-015U PFHW**-015U 15 1 ±1 950 680 M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 (※)
PFHC**-100U PFHW**-100U 100 2 ±2 520 430
PFHW**-200U 200 5 ±5 370
PFHW**-300U 300 10 ±10 300
PFHW**-400U 400 20 ±20 240

※他のねじ径はお問い合わせください.

 

縦型　　　　　
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 適用ねじ径
PFVC**-100U PFVW**-100U 100 2 ±2 1000 750 M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 M32×0.75 (※)

※他のねじ径はご相談ください.

 

箱型　　　　　
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 適用ねじ径
PFB*-030U 30 1 ±1 3100 M20.32×0.706 M25×0.75 M26×0.706 (※)
PFB*-100U 100 2 ±2 490
PFB*-300U 300 10 ±10 210

※他のねじ径はご相談ください.