製造元：（株）オプセル
ポリゴン走査ﾕﾆｯﾄを複数台(マルチ)連結することで,φ10μm(FWHM)のビーム径を維持したままワイド露光にも対応.
［標準基本仕様：走査ユニット２連結の場合］
| 項目 | 基本仕様 | 備考 |
| 有効露光Jobサイズ | 150mm(走査幅)×150mm(ステージ送り) | |
| 走査ビーム径(FWHM) | φ10μm | レーザが405nmの場合 |
| レーザタイプ | 半導体レーザ(405nm,650nm,780nm,830nm) | 固体レーザ：355nm,488nm,532nmも可 |
| データ解像度 | 2,540dpi | |
| データフォーマット | BMP | |
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フォーカスユニット (マニュアル操作) |
ﾌｫｰｶｽ光学系,モニタ,Z軸ステージ | |
| ［選択オプション］ | ||
| データ解像度 | 5,080dpi | 有効Jobサイズは150mm×80mm |
| 繰り返し露光機能 | ステージ送り方向にJobを任意回数露光 |
要求仕様に合わせて Y軸ステージ長を決定 |
| 基準穴位置調整機能 | 基準穴確認光学系,モニタ,X軸θ軸ステージ | |
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エアーチャク テーブル |
セラミックステーブル or アルミテーブル |
