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製造元：（株）オプセル

レーザ走査を用いた初めての干渉計です.

光沢紙程度の反射で干渉縞が出現.

干渉縞で50nmの変化をとらえます.

◇特徴 （サブミクロンの微小なクラックなどを検出したい方へ）

  • 大きな領域でのサブミクロンの干渉縞が得られます. 
  • 倒立型では,サンプルを乗せれば,今まで見たことのない微小な干渉縞からサブミクロン深さの傷観察ができます. 
  • 円筒用では,円筒面全面の展開した干渉縞観察が可能です. 
  • 正立型では,非接触でサブミクロンの微細な干渉縞を取得,面の精密なうねりや傷,突起などが簡単に計測できます.
  • 光沢紙程度の反射があれば精密干渉縞が簡単に観察できます.
  • ＬＳＭｉ－７０００シリーズ

 

◇製品の種類

倒立型レーザ走査干渉計 型番：LSMi-7000

●サンプルをガラス面に置けば,簡単に干渉縞が見える. 
●走査範囲は30mm×50mm,モニター上で拡大観察可能
●セラミックスなどの細い傷,研磨不良,欠けなどが検査可能
●干渉縞解析ソフトはオプション

円筒用レーザ走査干渉計 型番：LSMi-7500

●円筒の全面で干渉縞を観察可能,円筒の精密検査が可能

正立型レーザ走査干渉計 型番：LSMi-8000

●非接触で微細な干渉縞が簡単にみえます. 
●交換レンズは,5mm,10mm,26mm走査レンズ,特注可能
●通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます.

 

◇観察例