製造元：ユニオプト（株）

半導体結晶は,引き上げ時に結晶の向きがわずかにずれる欠陥が生じます.欠陥観察器はこの欠陥を簡便に検査するものです.ニオブ酸リチウム結晶など,可視光を透過するウェハーの検査に最適です.光弾性実験装置としても使用可能です.

 

仕様
◾偏光素子　：　φ 150 mm
◾観察領域　：　φ 140 mm
◾観察方法　：　クロスニコル法,円偏光法など組み合わせを変えられます.