レーザスキャナ

■MEMSスキャナ（光MEMS）

MEMSスキャナは、MEMS（※）技術で製造された1枚ミラーのスキャンデバイスです。1軸スキャンタイプと2軸スキャンタイプの2種類があります。
※MEMS：Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム

MEMSスキャナ（光MEMS） 各種 ※各種仕様がございますので、詳細はお問い合わせください。 周波数 500 ～ 10,000Hz ミラー Φ0.5 ～ Φ3mm 振り角 0 ～ 60度

	2次元MEMSスキャナミラー スキャン速度（高速軸） 22kHz スキャン速度（低速軸） 1.4kHz ミラープレートサイズ φ1.0mm 光学スキャナ角度 高速軸±20°/低速軸±18° スキャナ波形 正弦波（高速軸、低速軸） ジッタ精度 0.1％以下 ミラー反射 ～89％(420nm~670nm) ミラー精度 ＜λ/8＠635nm 実用温度 0℃～70℃ 実用湿度 -40％～85％ 音響ノイズ 30dB以下 駆動方式 静電方式 電力消費量 40ｍW以下 パッケージサイズ 6mmｘ8mm パッケージ PLCC
8ｍｍ×8ｍｍのICチップ型の2次元MEMSスキャナミラー（OPUS社製） 最新情報は以下のサイトでご確認下さい。http://www.opusmicro.com/products.html

■ポリゴンスキャナ

多面体ミラーを回転してスキャン。デジタル複写機等のレーザー書き込み系に使用

面数 4～60面 回転数 500～70,000rpm 面厚 1～100mm 内接円 10～150mm 振り角 10～100度

■ガルバノスキャナ

1面ミラーを電磁力で回転させてレーザー光を走査するスキャン。レーザーマーキングや各種レーザー加工

周波数 DC～1kHz ミラーサイズ ～Φ50mm 振り角 0～120度

■レゾナントスキャナ

1面ミラーを共振させることによりレーザをスキャン。共焦点画像走査・眼科医療機器などの高解像度画像アプリケーションに使用

周波数 100～8,000Hz ミラーサイズ Φ1～Φ20mm 振り角 0～180度

■LSU（レーザスキャンユニット）

オフセット印刷ダイレクト版下作成、液体内異物検出、シート汚れ、ピンホール検出、プラスチック分光分析、高速3次元計測、シート厚さ連続計測

■スキャンレンズ

ビームスキャン用レンズ