製造元：ユニオプト（株）

光検出系に光ファイバーを搭載することで,測定における空間分解能を高めることが可能です.図に,LiNbO3ウェハーの欠陥部を測定した例（従来法との比較）を示します.

空間分解能 ： φ 100 μm，φ 50 μm