THKプレシジョン 製品一覧
超音波モータステージ 制御コントローラ
駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した,超音波モータステージ専用のコントローラです. 最大3軸までの制御が可能です. 制御インターフェースとしてRS232Cを備えており,PCと接続してすぐに動作可能です.
超音波モータステージ
数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです. SPPA超音波モータの採用により,低発熱,摩擦保持による高い安定性を備えています.
超音波モータステージの機構
(1)圧電素子をゆっくり伸長させ移動テーブルが前進 (2)圧電素子を急峻に縮めることで摩擦部が滑り移動 → (1)(2)を繰り返してミリメートルの粗動 (3) 圧電素子にDC的に電圧を印加して目標位置へ高精度に位置決め. 停止後もリニアスケールの信号をフィードバックし位置制御を維持
センサアンプ
「微小力センサ」と「高荷重センサ」共通の低ノイズアンプです. 各センサと直接接続し,信号を増幅して電圧出力します. 最大2軸まで接続可能です.
高荷重センサ
100N の荷重を高分解能で検知できます. 精密加工や精密プレス時の力測定などに最適です.
微小力センサ
μN(mgf)レベルの微小な力を検知,測定できます. 本体が軽量コンパクトなので,取り扱いや装置への取り組みも容易です.
ピエゾドライバ
ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです. オープンループで動作させる場合や,大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます.
制御コントローラ
ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです. 制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし,ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます.
汎用向け精密ピエゾステージ
内蔵センサとして『歪みゲージ』を採用した新しいシリーズです. 50nm分解能とフィードバック制御で高い位置再現性が得られます. ピエゾのもつ高速応答性はそのままにコストを抑えられます.
インパクトアクチュエータ
インパクトアクチュエータは,圧電アクチュエータを急峻に伸縮させたときの慣性力を利用し,ワーク(対象物)に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです. 組み立て途中の部品の微細位置調整や,回転芯出しなどに応用できます.
簡易型アクチュエータ
簡易型アクチュエータは,圧電素子を弾性ヒンジ機構に組み込んだ構造のアクチュエータです. 変位センサは内蔵しておりません. タップ穴付きで固定や取り外しが簡単に行え.移動ガイドを備えているため真直性の高い動きが得られます.
超精密加工機用ステージ
超精密加工機用ステージは,精密切削におけるナノ･マイクロ加工を実現するステージです. 工具の切り込みやワーク(加工物)の移動を高速･高精度に位置制御できます.
対物レンズフォーカス用ステージ
対物レンズフォーカス用ステージは,対物レンズの焦点調整用に専用設計したステージです. 顕微鏡や各種の検査･測定装置,観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります.
回転・チルトステージ
回転･チルトステージは,ピエゾ駆動による微小な角度調整を行うことができます. 最大角度変位量は小さいながら,高速応答性,高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング,ミラーアライメント,面合わせなどに最適です.
開口付きステージ
『開口付きステージ』は,移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです. レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや,顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察,高精度マッピングなどに適しています.
標準直動ステージ
標準直動ステージは,単軸から最大3軸まで豊富なラインナップを揃えたピエゾステージの基本シリーズです. 圧電素子の高速応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により,高速,高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です. 各軸とも機構の違いにより,「直動駆動機構」と「変位拡大機構」に分かれています.
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