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ユニオプト 製品一覧

高精度測定型複屈折測定装置:ABR-100

ABR-100は,複屈折とその方位を高精度に測定することが可能です.光ヘテロダイン干渉法の採用により高感度・高精度測定を達成いたしました.操作は全てコンピューターによるメニュー方式なので手軽に操作でき,測定結果は作業者の熟練度に依存しません.キャリブレーション操作を行うことで,より再現性の高い測定が可能になるばかりでなく,様々な応用測定が実現できます.試料ステージを操作することで,2次元複屈折(分布)の測定が可能です.また,傾斜ステージを搭載することで,斜入射複屈折の測定が可能です.ス テージは,コンピューターにより自動制御されます.測定結果は,2次元表示・断面表示・3次元表示でビジュアルに表現されます

セナルモン型自動複屈折測定装置 : SBR-1

SBR-01は,複屈折測定法としてもっともポピュラーなものの一つとしてあげられる,セナルモン法がベースになっています.セナルモン法は,日本光学硝子工業会の硝子の歪(複屈折)測定において標準測定法として採用されています.この光学測定原理はそれに使われる光学素子のアライメント誤差に対して他の測定原理よりも測定誤差を生じにくいことも知られています.

セナルモン型自動複屈折測定装置 : SBR-2

SBR-02は,エリプソメータで用いられている回転偏光子法がベースになっています.光学系は,ほぼSBR-01と同じ構成になっていますが,光源側の偏光子を回転させることで試料の複屈折位相差と主軸方位とを同時に求めることが可能です.

偏光変調回転型自動複屈折測定装置 : SBR-3

SBR-03は,ユニオプトが新しく開発した測定原理に基づいた複屈折測定装置です.試料に入射させる偏光状態を変調しながら回転させることによって,試料の複屈折と主軸方位を同時に求めます.測定ダイナミックレンジが広いこと,測定分解能が高いことが特徴です. (特許第3844222号)

複屈折観察器:SBV-01

簡易型複屈折観察器:SBV-01は,試料の複屈折の大きさを色の変化に置き換えて簡単に観察できる装置です.複屈折の相対的な比較や,試料内部の複屈折分布の観察に有用です.検査工程での選別作業に大変有効です.CCDカメラで撮像し,それをパソコンに取り込み画像データーベースに登録することが出来ます(オプション).標準試料を予め登録しておくことで,試料の比較選別が簡単に行えます.標準試料に複屈折既知の試料を使うことで,大まかな定量評価も可能です.

半導体ウエハの欠陥観察器:SBV-20

半導体結晶は,引き上げ時に結晶の向きがわずかにずれる欠陥が生じます.欠陥観察器はこの欠陥を簡便に検査するものです.ニオブ酸リチウム結晶など,可視光を透過するウェハーの検査に最適です.光弾性実験装置としても使用可能です.

高空間分解能計測アタッチメント

光検出系に光ファイバーを搭載することで,測定における空間分解能を高めることが可能です.図に,LiNbO3ウェハーの欠陥部を測定した例(従来法との比較)を示します.

VectMAP(複屈折分布表示ソフト)

VectMAPは,複屈折や電磁場,流体などのベクトル量の大きさと向きを持つ量の2次元分布情報を同時にマッピングするソフトです.

光弾性定数測定装置

ABR-EXやSBRモデルに試料の加圧装置を組み合わせることで,高精度な光弾性定数測定が可能になります.試料ステージ部に自動延伸装置を搭載し,試料に負荷を加えながらその時点での複屈折量を測定します.延伸装置は,試料セット部に温度制御機構を設けておりますので,材料に適した温度における延伸が行えます.また,この延伸装置を回転・傾斜ステージと組み合わせることで,屈折率楕円体の測定や入射角を変更した場合の複屈折特性評価試験などを行うことが出来ます.

脈理観察器

脈理観察器(UMY-10)は,様々な透明体試料の屈折率の乱れ(=脈理*)を簡単に観察することができる装置です.シュリーレン法を応用した光学系にCCDカメラを組み合わせ,モニターで観測することで,脈理検査に対して特別な訓練を必要とせず,高感度な検査を行うことができます.

自動ステージ

ユニオプトの複屈折測定装置の自動試料ステージは,大きさ,スタイルなど様々な様式に対応し,全てPCにより自動制御されます.この制御技術は,複屈折測定装置だけでなく,様々な計測装置に応用が出来ます.PCによる制御は,標準で4軸までの同時制御が可能です.ステージの組み合わせは,お客様のご仕様に合わせて設計・カスタマイズが可能です.ステージ単体,コントローラーの販売だけでなく制御ソフトウェアの受託開発も致します.

大面積走査顕微鏡

大面積走査顕微鏡(EXPloratory microscope for Extensive aRea with Transmitted_light, EXPERT-G2)は,写真乾板やガラス基板などの試料の測定と解析を目的に開発された光学顕微鏡機構です.

C-マウントカメラ用2視野レンズ

2つの光学系からの映像を1つの撮像素子の左と右に分けて映し込みます.C-マウント仕様のカメラであれば新旧問いません.モニター画面,PC画面に映し出される2枚の画像は裸眼クロス法で立体視が可能です.立体視計測ソフトウェアも現在開発中です.下記に紹介する2つのモデルは, 二つの光軸に視差を持たせて観察する「立体視レンズ」です. これ以外にも, ご要望に応じて観察方向を変更することが可能です.

プリズムカップリング式屈折率計

プリズムカップリング式屈折率計 RIP-01は,基準プリズムの底面にサンプルを密着させたときの全反射臨界角を測定することで,屈折率を計測します.光源は標準で2種の半導体レーザーを搭載し,ガラスやアクリル等の硬質なサンプルだけでなく,ジェル状の柔らかいサンプルの測定も可能です.全反射角の測定再現性は0.02 deg.であり,屈折率の角度分解能に換算すると0.0005以下となります.

機器利用サービス

弊社にあります複屈折測定装置・光弾性定数測定装置を利用して,お客様自身で測定をして頂くことも可能です.ご利用に際しては,弊社社員が操作方法の指導や,測定法など,丁寧にサポートします.

計測サービス

ユニオプトは,光ヘテロダイン干渉法による複屈折計測の研究を行っており,これまで様々な試料を計って参りました.この経験を活かし,弊社測定装置による測定サービスを承っております.

カスタムオーダー

◆光学系の設計-製作 投影系,結像系,プリズムやダイクロイックフィルターを含む光学系,レーザー干渉計など,お客様の仕様に応じた光学系の設計から製作まで一貫してお受け致します.基礎実験用の装置,産業用製造装置,評価装置に応じて,その装置の使い勝手を十分に考慮した機構設計でご好評を頂いています.



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