レーザ顕微鏡の光学系を利用した新しい検査装置　- ユーザカスタマイズ可能

製造元：（株）オプセル

レーザ走査イメージャは顕微鏡でもCCDカメラでもない第3の観察,検査装置です.光学顕微鏡では見えにくい透明フィルムやセラミックスなどの画像取得が可能です.レーザラスター走査なので顕微鏡に比べ100倍以上の大きい視野を持っています.

 

用途

  1. 透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出
  2. サファイヤウエハの欠陥検査
  3. セラミックスなどの微小クラック欠陥検出
  4. 蒸着膜の剥離などの観察
  5. 樹脂凸版の異物、文字カケ検査
  6. 小径レンズ、小型金型の非接触形状測定
  7. その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

 

 

観察例

走査レンズの種類

走査幅 WD(mm) 分解能(μ) 深度(μ)
2.6mm 4 0.297 1.4
4mm 7 0.405 2.6
10mm 30 1.0125 14.0
26mm 40 2.2779 60.0