製造元：THKプレシジョン(株)

『開口付きステージ』は,移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです.

レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや,顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察,高精度マッピングなどに適しています.

小開口から大開口まで対応

•小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプから,大きなパネルをアライメントできる大開口タイプも揃えています.
•高精度フィードバック制御により,スムーズで正確な走査や円駆動が可能です.

 

製品使用例

•走査型プローブ顕微鏡 SPM,AFM
•顕微鏡試料テーブル
•分光分析機器
•半導体,FPD関連装置
•露光装置
•マッピング測定

 

製品ラインナップ

X軸　　　　　
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PK1L60-030U 30 1 ±1 2800 60×70×16
PK1L45-100U 100 2 ±2 490 45×45×16
      
XY軸　　　　　
PK2H     
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PK2H100-030U (X,Y)30 1 ±1 2500 100×100×25
PK2H130-030U (X,Y)30 1 ±1 1500 130×130×30
PK2H150-050U (X,Y)50 2 ±2 1200 150×150×30
PK2L     
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PK2L100-080U (X,Y)80 2 ±2 530 100×100×30
PK2L64-100U (X,Y)100 2 ±2 300 64×64×30
PK2L76F-100U (X,Y)100 2 ±2 240 76×76×32
PK2L130-100U (X,Y)100 2 ±2 580 130×130×30
PK2L150-100U (X,Y)100 2 ±2 420 150×150×30
PK2L150-200U (X,Y)200 5 ±5 370 150×150×30
PK2L150-300U (X,Y)300 10 ±10 240 150×150×30
PK2L280-200U (X,Y)200 5 ±5 150 280×280×28
      
Z軸　　　　　
PKVH     
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]

本体サイズ
 [mm]
PKVH60-012U 12 1 ±1 2500 60×60×36
PKVL          
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PKVL64F-100U 100 2 ±2 480 64×64×30
PKVL100-100U 100 2 ±2 480 100×100×30
PKVL84F-300U 300 10 ±10 210 84×84×30
      
XYZ軸　　　　　
PK3H     
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PK3H130-030UA (X,Y)30,(Z)20 (X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 820 130×130×30
PK3H150-050U (X,Y)50,(Z)30 (X,Y)2,(Z)1 (X,Y)±2,(Z)±1 670 150×150×30
PK3L     
型番 ストローク
[μm]		 分解能
[nm]		 繰り返し精度
[nm]		 共振周波数
[Hz]		 本体サイズ
[mm]
PK3L150-100UA (X,Y)100,(Z)30 (X,Y)2,(Z)1 (X,Y)±2,(Z)±1 430 150×150×30
PK3L150-100U (X,Y)100,(Z)100 (X,Y)2,(Z)2 (X,Y)±2,(Z)±2 350 150×150×30
PK3L150-200UA (X,Y)200,(Z)100 (X,Y)5,(Z)2 (X,Y)±5,(Z)±2 280 150×150×30
PK3L150-300UA (X,Y)300,(Z)100 (X,Y)10,(Z)2 (X,Y)±10,(Z)±2 210 150×150×30