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精密メカ 製品一覧

中空XYステージ (OMST-201H)

本品は,２０×２０ｍｍの窓を持ったxyステージで,x,y各々のステージがどの状態になっていても中央に２０×２０ｍｍの貫通した空間を持っているものです. おもな用途としては,図１のようにバキュームチャンバーのＩＣＦフランジにとりつけて集光または照射用ファイバをスキャンさせてピークを探す等のに使用されます. また,オプションで,ピークサーチソフト等も用意していますので大変便利です.

小型自動調芯装置

パソコンを必要とせずファイバを調芯します. ・融着接続と同等の光接続特性(0.05dBm程度) ・各調芯パラメータはユーザーが設定できます. ・各部分のみでＯＥＭするので,生産ライン等に必要部だけ組込み可能.

多軸自動調整装置

構成軸は,基本直線３軸(X,Y,Z)にオプション角度３軸(θ,φ,γ)を組み合わせることができます. ≪各部構成≫ １．導波路ホルダ ネジクランプ方式により,クランプします. 標準は,直角研磨用クランプですが,オプションでナナメ研磨用クランプに交換できます. 固定方法 ネジクランプ式 ２．調芯軸 各軸にＤＣサーボモータを使用したクローズループで制御しており,xyzθφγの重量ステージでも,パルスモータステージのようにモータがスリップするようなことはありません.

ピークサーチ機能付xyステージ

本品は,PCなしで駆動することができるように,コントロールBOX に光パワーメータ,ボードコンピュータ等を内蔵した簡易型の電動微動台です.xyステージとコントローラのセットだけでマニュアル動作,ピークサーチ等行なえます.又,EXTにすればPCよりの指令にて動作します.又,本体寸法は60×60なので,マイクロメータ駆動の60×60微動台と互換性があります.

自動ステージ

ユニオプトの複屈折測定装置の自動試料ステージは,大きさ,スタイルなど様々な様式に対応し,全てPCにより自動制御されます.この制御技術は,複屈折測定装置だけでなく,様々な計測装置に応用が出来ます.PCによる制御は,標準で4軸までの同時制御が可能です.ステージの組み合わせは,お客様のご仕様に合わせて設計・カスタマイズが可能です.ステージ単体,コントローラーの販売だけでなく制御ソフトウェアの受託開発も致します.

超音波モータステージ 制御コントローラ

駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した,超音波モータステージ専用のコントローラです. 最大3軸までの制御が可能です. 制御インターフェースとしてRS232Cを備えており,PCと接続してすぐに動作可能です.

超音波モータステージ

数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです. SPPA超音波モータの採用により,低発熱,摩擦保持による高い安定性を備えています.

超音波モータステージの機構

(1)圧電素子をゆっくり伸長させ移動テーブルが前進 (2)圧電素子を急峻に縮めることで摩擦部が滑り移動 → (1)(2)を繰り返してミリメートルの粗動 (3) 圧電素子にDC的に電圧を印加して目標位置へ高精度に位置決め. 停止後もリニアスケールの信号をフィードバックし位置制御を維持

ピエゾドライバ

ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです. オープンループで動作させる場合や,大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます.

制御コントローラ

ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです. 制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし,ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます.

汎用向け精密ピエゾステージ

内蔵センサとして『歪みゲージ』を採用した新しいシリーズです. 50nm分解能とフィードバック制御で高い位置再現性が得られます. ピエゾのもつ高速応答性はそのままにコストを抑えられます.

インパクトアクチュエータ

インパクトアクチュエータは,圧電アクチュエータを急峻に伸縮させたときの慣性力を利用し,ワーク(対象物)に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです. 組み立て途中の部品の微細位置調整や,回転芯出しなどに応用できます.

簡易型アクチュエータ

簡易型アクチュエータは,圧電素子を弾性ヒンジ機構に組み込んだ構造のアクチュエータです. 変位センサは内蔵しておりません. タップ穴付きで固定や取り外しが簡単に行え.移動ガイドを備えているため真直性の高い動きが得られます.

超精密加工機用ステージ

超精密加工機用ステージは,精密切削におけるナノ･マイクロ加工を実現するステージです. 工具の切り込みやワーク(加工物)の移動を高速･高精度に位置制御できます.

対物レンズフォーカス用ステージ

対物レンズフォーカス用ステージは,対物レンズの焦点調整用に専用設計したステージです. 顕微鏡や各種の検査･測定装置,観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります.

回転・チルトステージ

回転･チルトステージは,ピエゾ駆動による微小な角度調整を行うことができます. 最大角度変位量は小さいながら,高速応答性,高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング,ミラーアライメント,面合わせなどに最適です.

開口付きステージ

『開口付きステージ』は,移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです. レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや,顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察,高精度マッピングなどに適しています.

標準直動ステージ

標準直動ステージは,単軸から最大3軸まで豊富なラインナップを揃えたピエゾステージの基本シリーズです. 圧電素子の高速応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により,高速,高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です. 各軸とも機構の違いにより,「直動駆動機構」と「変位拡大機構」に分かれています.