製造元：THKプレシジョン(株)

超精密加工機用ステージは,精密切削におけるナノ･マイクロ加工を実現するステージです.

工具の切り込みやワーク(加工物)の移動を高速･高精度に位置制御できます.

防塵防滴 と 堅牢構造

防塵防滴の対策

密閉構造で加工液やミスト対策を施しており,小さな切り屑などの浸入も防ぎます.

堅牢な本体

加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用.ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています.

 

製品使用例

• ダイヤモンドバイト送り
• 微細切削,研削加工
• 高速工具制御
• ワーク位置決め
• 精密金型加工
• 高荷重物の精密位置決め

 

製品ラインナップ

X軸　　　　　
型番 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PU1H70F-012U 12 1 ±1 4300 70×80×34
PU1H80F-030U 30 1 ±1 2200 80×90×35
PU1H150F-060U 60 2 ±2 650 150×150×40
PU1L70F-080U 80 2 ±2 1000 70×90×32
XY軸　　　　　
　 ストローク [μm] 分解能 [nm] 繰り返し精度 [nm] 共振周波数 [Hz] 本体サイズ [mm]
PU2H70F-030U 30 1 ±1 1800 70×100×34
PU2H90F-030U 30 1 ±1 890 90×90×37