超音波モータとは、一般的に普及している電磁石を使った電磁モータとはまったく異なる原理を使った新しいモータです。超音波振動を用いて摩擦力により振動を回転や直線的な運動に変換するモーターです。モーターと言う名前がつけられていますが、電気エネルギーを運動エネルギーに変換するアクチュエータと言った方が理解しやすいように感じます。
超音波モータの特徴としては、磁力を使っていないため高磁場の環境下でも使用が可能ですし、小型、軽量、高トルク、静粛性があげられます。高磁場(MRIなど)環境下での駆動装置、カメラのオートフォーカス、計測器の駆動装置、微細位置決め装置、ロボットの駆動部分などに広く使われております。
本ＪＰＵサイトでは、超音波モータの特性を生かした超音波モータステージを紹介しております。同ステージはTHKプレシジョン(株)が開発・製造しており、数１０mmの長いストローク範囲を20nmの高い分解能で制御できる高精度ステージとなります。 超音波モータステージはこちら
圧電素子の力で基材を微細に変形させ波が流れるように変形（超音波振動）させると上部に接触している移動プレートが動き出す。例えば、基材の波を右から左に流れるように振動させると移動プレートは逆方向の光から右方向に移動します。
また、基材と移動プレートには常に強い圧がかかっているため、超音波モータの特徴として通電していない時でもプレートが移動(回転)しないという特徴もあります。
