製造元：コスモ技研（株）

 

 

 

 

 

 

 

 

 

短波長紫外線とそれによって生成されるオゾンによって精密洗浄や改質をする装置です。
オゾン分解触媒を装備していますのでオゾンは排出されません。
シリコンウェハーやレンズ等の洗浄に使用されます。
150×150mm、200×200mm、250×250mmの３サイズがあります。
高出力タイプ４００Wもあります。